W和W/Ti合金靶材的应用及其制备技术

摘要：

近年来随着磁控溅射技术的应用日趋广泛,对各种高纯金属及合金溅射靶材的需求量也愈来愈大.本文简要介绍了当前W和W/Ti合金靶材的应用和制备方法等,对W和W/Ti合金靶材未来的制备技术进行了展望.

关键词：靶材、应用、制备技术

所属期刊栏目：27

分类号：TG178;O552.2;O657.31

资助基金：国家自然科学基金;高等学校博士学科点专项科研基金

在线出版日期：2009-05-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：52-57