热等静压技术在高品质难熔金属靶材制备中的应用

摘要：

随着电子信息产业的快速发展,市场对靶材的质量提出了越来越高的要求.热等静压技术作为一种材料成形及特殊热处理方法,经过多年发展,己成为制备高品质靶材的重要手段.简要介绍了热等静压技术的发展、设备工作原理以及难熔金属靶材的性能要求.重点介绍了热等静压技术在高品质难熔金属Mo、W、Cr及其合金靶材制备中的应用,以及热等静压工艺对其微观组织及溅射性能的影响.

关键词：热等静压、高品质靶材、纯度、难熔金属、致密度

所属期刊栏目：32

分类号：TG156.9;F49;TF124.32

在线出版日期：2023-03-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：100-107,120