钼靶材溅射沉积效果差异原因分析

摘要：

采用粉末冶金法制备了不同晶粒度的钼棒并加工出靶材,通过金相技术、显微硬度测试和力学性能测试等方法对产品的微观组织、力学性能进行分析,研究了产品在涂层制备过程中溅射沉积钼效果存在差异的原因.研究结果表明,钼靶材组织的晶粒均匀细小,晶界所占面积率越大,钼靶材溅射沉积效果越好.钼靶材抗拉强度、伸长率、硬度随晶粒尺寸的减小呈上升趋势.

关键词：晶粒度、显微组织、钼靶材、溅射沉积

所属期刊栏目：32

分类号：TG146.21;F272;R473.6

在线出版日期：2022-07-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：127-130