无氧铜表面钨涂层制备及结合性能研究

摘要：

采用化学气相沉积(CVD)工艺在无氧铜表面制备钨涂层,利用热等静压扩散连接工艺对铜钨复合界面进行热处理,得到铜钨复合材料.采用SEM、金相显微镜观察涂层及铜钨界面微观形貌,用胶粘和钎焊两种测试方法评价铜钨界面结合强度.结果 表明,钨涂层显微组织为柱状晶,涂层厚度及界面均匀;结合强度测试过程中涂层均未剥落或损伤,表明钨铜界面结合强度大于胶粘界面和钎焊界面的结合强度.

关键词：化学气相沉积、钨涂层、热等静压、界面结合强度

所属期刊栏目：29

在线出版日期：2019-05-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：21-23