多弧离子镀TiN涂层的N2/Ar流量参数研究

摘要：

利用多弧离子镀在硬质合金基体上制备TiN涂层，研究了N2/Ar流量比对TiN涂层表面大颗粒分布与力学性能的影响。通过扫描电镜观察TiN涂层的表面形貌，并利用ImageJ图像处理软件对大颗粒的数量和尺寸进行了分析，通过自动划痕仪和纳米压痕仪对涂层的力学性能进行表征。结果表明：随着N2流量的增加，涂层表面沉积颗粒的最大直径和平均直径逐渐减小，涂层的附着力整体呈现增加趋势，显微硬度则先增大后减小。

关键词：多弧离子镀、TiN涂层、N2/Ar流量比、大颗粒、力学性能

所属期刊栏目：26

分类号：O65;TG1

资助基金：四川省科技厅资助项目15010112；自贡市科技局项目2015HX19；四川理工学院科研培育项目2014PY10

在线出版日期：2016-07-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：44-48