10.13228/j.boyuan.issn1006-6543.20150055
多弧离子镀TiN涂层的N2/Ar流量参数研究
利用多弧离子镀在硬质合金基体上制备TiN涂层,研究了N2/Ar流量比对TiN涂层表面大颗粒分布与力学性能的影响。通过扫描电镜观察TiN涂层的表面形貌,并利用ImageJ图像处理软件对大颗粒的数量和尺寸进行了分析,通过自动划痕仪和纳米压痕仪对涂层的力学性能进行表征。结果表明:随着N2流量的增加,涂层表面沉积颗粒的最大直径和平均直径逐渐减小,涂层的附着力整体呈现增加趋势,显微硬度则先增大后减小。
多弧离子镀、TiN涂层、N2/Ar流量比、大颗粒、力学性能
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O65;TG1
四川省科技厅资助项目15010112;自贡市科技局项目2015HX19;四川理工学院科研培育项目2014PY10
2016-07-07(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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