SiC颗粒的氧化行为研究

摘要：

研究了SiC颗粒氧化前后的微观形貌及元素变化,SiC颗粒氧化增重趋势及其影响因素.结果表明:氧化反应使SiC颗粒形貌发生很大改变,对SiC颗粒有钝化作用,使其失去了很尖锐的边角,更趋于圆滑;氧化后SiC颗粒表面有SiO2生成;氧化前期SiC氧化增重随氧化时间的延长和氧化温度的升高而呈线性关系增加,氧化速度主要受界面化学反应速率影响,氧化后期氧化增重缓慢,受O2和CO等在表层氧化膜中的扩散速率控制.并提出了一种简单估算SiC颗粒氧化层厚度的公式.

关键词：SiC颗粒、氧化反应、氧化速度、氧化膜

所属期刊栏目：26

分类号：TG1;TF8

资助基金：国家自然科学基金资助项目51371077

在线出版日期：2016-04-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：14-19