10.3969/j.issn.1006-6543.2012.01.005
钌金属溅射靶材烧结工艺研究
采用热压、放电等离子烧结及直接热压等粉末冶金工艺制备了钌金属溅射靶材,通过对致密度、晶粒度与氧含量分析研究了工艺过程对钌金属靶材制备的影响,并对比分析了三种方法制备钌靶的特点.结果表明:通过工艺优化利用三种方法均能制备出相对密度达到99%以上的高密度钌靶;随着制备温度的升高,钌靶氧含量降低,晶粒尺寸增大;热压工艺制备周期最长,钌靶表面有晶粒粗大层;放电等离子烧结与直接热压工艺都具有快速、近净成形的特点.
钌、溅射靶材、热压烧结、放电等离子烧结、直接热压
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TM2;TN3
2012-04-27(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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