SHS法工艺参数对制备氮化硅粉体的影响

摘要：

本文采用自蔓燃高温合成方法(Self-propagating High-temperature Synthesis)简称(SHS)合成氮化硅粉体,借助于XRD、SEM等检测方法,分析了自蔓燃高温合成氮化硅过程中氮气、温度、稀释剂与孔隙率等方面的影响.结果表明:只要最高燃烧温度不高于相应氮气压力下Si3N4的热分解温度,就可以用SHS方法合成Si3N4;氮气压力下硅粉的自蔓燃合成反应,必须要引入Si3N4稀释剂,来控制反应温度,以获得高α相含量的粉体.压坯气孔率控制在30%～70%,否则反应不能进行.研究发现SHS法可以制备纯度较高的氮化硅粉体.此法较传统方法合成的氮化硅设备简单,成本低廉,纯度高,填充性及烧结活性好.

关键词：自蔓燃高温合成、α-Si3N4、β-Si3N4

所属期刊栏目：16

分类号：TF1(冶金技术)

资助基金：国家科技攻关计划2003DFBA0010

在线出版日期：2007-01-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：23-26