10.3969/j.issn.1006-6543.2005.06.006
热丝CVD法沉积金刚石薄膜用灯丝研究现状及改进
热丝化学气相(CVD)法沉积金刚石具有其它沉积方法所无法比拟的优势而受到重视,然而在高温沉积过程中灯丝容易发生形变和挥发所带来的"污染"影响了金刚石沉积膜的质量,本文就热丝法中三种常用灯丝(钨丝、钼丝和铼丝)的高温行为的研究现状进行了综合评述.在此基础上,提出了钽丝表面包钨的新实验,以进一步指导热丝CVD法沉积高质量的金刚石.
HFCVD法、金刚石、灯丝、碳化、电阻
15
TF125.2(冶金技术)
2006-01-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共7页
26-32