退火对掺铟氧化锌薄膜结构及光学性能的影响

摘要：

采用溶胶-凝胶法在石英衬底上制备掺铟氧化锌薄膜,研究不同退火温度对薄膜结构及发光性能的影响.结果表明,掺铟氧化锌薄膜仍为六角纤锌矿结构的ZnO相,在大于450 nm的波段薄膜样品的透射率都较高；随着退火温度的升高,透射率先增后减,600℃时达到最大；薄膜样品的光学带隙都小于纯ZnO的理论值(3.37 eV),且随退火温度的升高呈先减后增趋势；样品的结晶度与发光强度随着退火温度的升高而增强.

关键词：掺铟氧化锌、溶胶-凝胶法、半高宽、光学带隙

所属期刊栏目：41

分类号：O484.5(固体物理学)

资助基金：福建省自然科学基金资助项目2011J05122

在线出版日期：2013-01-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：650-654