多晶硅成品检测实验室取样、酸洗、气源影响因素原因分析

摘要：

多晶硅作为拉制单晶硅的重要原料，在硅材料检测分析及研究领域有着重要的意义，而因影响其质量检测分析的原因具有多样性特点，因此若确保检测分析结果的准确性和可靠性，就需要从人、机、料、法、环、测几个方面严格控制，尤其是在产品检测中尤为重要，人员、检测方法、环境污染等均会导致结果的偏差。

关键词：多晶硅、成品检测、取样、酸洗、气源

分类号：TQ016(一般性问题)

在线出版日期：2015-03-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：50-53