更小、更轻、更廉价的微机电系统

摘要：

@@ 今后几年,微机电系统(MEMS)在军事设备领域将变得和今天的微处理机一样普通.MEMS是用传统数据处理与控制系统集成最新型的敏感与传动功能的微小尺寸装置.MEMS通常由硅制成,多采用由微电子工业开发的部件的装配与封装技术.它之所以具有自己的特点,即将机械或结构部件(如带有电子装置的加速度计和微透镜)和一些电子装置(如微处理器和射频发射机)集成在一起,也包括流体、光学、电磁和电稳定系统.

机标关键词：电子装置、微机电系统、射频发射机、处理与控制、系统集成、稳定系统、微小尺寸、微处理器、微处理机、结构部件、加速度计、工业开发、封装技术、微透镜、微电子、装配、数据、设备、流体、军事

分类号：TN8;V21

在线出版日期：2005-01-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：55-59