W掺杂Cr2O3薄膜的制备及其在异丁烯气体检测中的应用

摘要：

为了实现对异丁烯气体的有效检测,采用气溶胶辅助化学气相沉积(AACVD)技术在氧化铝基底表面合成氧化铬(Cr2O3)及W掺杂Cr2O3(W/Cr2O3)薄膜.通过SEM、TEM、XRD及XPS等检测手段对Cr2O3及W/Cr2O3薄膜的微观形貌、晶体结构和元素结合价态进行分析.结果表明:Cr2O3薄膜厚度约为20μm,由粒径为50 nm左右的纳米颗粒组成,其结构较松散,而W掺杂Cr2O3后所获薄膜结构致密,颗粒粒径约为15 nm,尺寸明显减小,Cr2O3及W/Cr2O3薄膜均具有单一的六方相晶体结构.气敏测试结果表明,在400℃工作温度条件下,基于W/Cr2O3薄膜所制备的气体传感器相较于Cr2O3气体传感器对2×10?5异丁烯的灵敏度由原来的1.11提升为3.55,并展现出良好的稳定性、抗湿性和气体选择性.

关键词：W掺杂、Cr2O3薄膜、气体传感器、异丁烯、敏感机制

所属期刊栏目：40

分类号：TB332(工程材料学)

在线出版日期：2023-09-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：4549-4557