电极与介电层褶皱接触对压电式柔性电子皮肤性能的影响

摘要：

提出了一种基于压电效应制备柔性电子皮肤的简单方法.为了研究纳米改性对柔性电子皮肤各层性能的影响,首先以纳米SiO2粒子作为改性体,以聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为基体,制备出SiO2/PDMS复合柔性衬底,解决了在PDMS上磁控溅射沉积电极材料产生裂纹的现象,成功获得能够稳定工作的柔性电极.然后用钛酸钡/碳纳米管/聚二甲基硅氧烷(BaTiO3/CNTs/PDMS)复合材料作为功能层,制备出一种五层结构的高灵敏性柔性电子皮肤,并找到一种通过改变基板粗糙度的简单方法构建电极与介电层的褶皱接触,进而提升柔性电极的电导率与柔性电子皮肤的压电响应信号.

关键词：磁控溅射、纳米SiO2、柔性电子皮肤、压电响应、柔性传感器

所属期刊栏目：37

分类号：TB332(工程材料学)

资助基金：汕头大学靶材与柔性电子薄膜启动项目资金;广东省教育厅团队创新项目资金

在线出版日期：2021-02-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：3194-3200