基于干共混法控制柔性模板上金属薄膜微裂纹形貌

摘要：

以500nm的SiO2纳米粒子为填料,聚二甲基硅氧烷(PDMS)为包覆纳米粒子的聚合物,通过一种新颖的干共混法制备了SiO2纳米粒子含量高达83.8wt％的SiO2/PDMS柔性模板.所制备柔性模板的弹性模量为16.58MPa,热膨胀系数为96×10-6/℃,较SiO2直接掺入PDMS中湿共混制备的纯PDMS柔性模板,弹性模量提高了91.56％,热膨胀系数降低了69.23％,且该柔性模板具有良好的透明度.最后,在柔性模板表面采用磁控溅射法沉积银薄膜,利用SEM和AFM对银薄膜表面形貌进行表征.结果显示,银薄膜表面光滑,粗糙度很小,且具有良好稳定性.干共混法制备的柔性模板有效抑制了金属薄膜微裂纹的产生,为制造导电性良好的电极及大面积的金属薄膜提供了新方案.

关键词：SiO2/PDMS柔性模板、干共混法、微裂纹、弹性模量、热膨胀系数

所属期刊栏目：37

分类号：O484.5(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金面上项目;陕西省教育厅重点实验室科学研究计划项目

在线出版日期：2021-02-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：3111-3118