化学气相沉积层状BCx/SiC涂层自愈合机制

摘要：

采用化学气相沉积法(chemical vapor deposition,CVD)在SiC上制备了BCx涂层,研究了静态空气条件下BCx的氧化行为,并获得BCx氧化的动力学参数,对裂纹的愈合时间进行了预测.采用压痕法,在BCx/SiC层状结构中预制微裂纹,以观察B2O3玻璃相对裂纹的愈合情况.通过扫描电镜(SEM)对裂纹的愈合情况进行观察,结果表明,理论预测结果与实验验证能够很好地吻合.

关键词：化学气相沉积、BCx、涂层、氧化行为、自愈合、机制

所属期刊栏目：30

分类号：TB332(工程材料学)

资助基金：高等学校学科创新引智计划计划;国家自然科学基金;国家自然科学基金

在线出版日期：2017-01-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：125-132