镓基氧化物薄膜日盲紫外探测器研究进展

摘要：

日盲紫外探测器在国防和民用领域均具有广阔的应用前景.基于宽禁带半导体材料的日盲紫外探测器具有无需昂贵的滤光片、工作电压低、全固态、体积小、重量轻、抗干扰能力强、工作温度范围广等特点,是公认的新一代紫外探测器.在众多的宽禁带半导体材料中,以Ga2O3作为典型代表的镓基氧化物材料因其优异的电学和光电特性已经成为近年来微电子学和光电子学领域的研究热点,特别是其本征日盲、耐高温、耐高压、化学稳定性好等优异特点使得该类材料在日盲紫外光电探测领域展现出巨大的发展潜力.鉴于此,本文综述了不同晶体结构的Ga2O3、镓酸盐氧化物、镓锡氧化物、镓铝氧化物等镓基氧化物薄膜及其日盲紫外探测器研究进展.

关键词：日盲、紫外探测器、Ga2O3、镓基氧化物、镓酸盐氧化物、含镓三元合金氧化物

所属期刊栏目：44

分类号：O484.4;TN36(固体物理学)

在线出版日期：2023-08-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共19页

页码：1167-1185