53Gbit/s高速单模940nm垂直腔面发射激光器

摘要：

制备了不同氧化孔径的940 nm垂直腔面发射激光器(VCSEL),选取氧化孔径为3,6,9μm的VCSEL进行了测试表征分析.氧化孔径为3,6,9μm的VCSEL的最高输出功率分别为2.92,6.79,10.49 mW,调制带宽分别为27.65,23.34,20.56 GHz.此外,氧化孔径为3μm的VCSEL在整个工作电流下都可实现单模工作,氧化孔径为6μm和9μm的VCSEL在较大电流下呈现少模和多模特性.最后,选取3μm氧化孔径的VCSEL进行数据传输测试,在非归零(NRZ)码下实现了传输速率53 Gbit/s.

关键词：垂直腔面发射激光器、高速、单模

所属期刊栏目：43

分类号：TN248.4;TP394.1;TH691.9(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家重点研发计划;国家重点研发计划;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;中国科学院青年创新促进会项目;中德科学中心合作交流项目;吉林省国际合作项目

在线出版日期：2022-08-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1114-1120