多结级联垂直腔面发射激光器失效分析

摘要：

对自主研发的940 nm大功率三结垂直腔面发射激光器(VCSEL)单点器件的高温高电流老化失效后的器件进行了失效分析研究.首先,通过热阻测试确定了加速老化实验的结温,并计算了老化加速因子为104.随后,对老化过程中产生的失效器件进行失效分析.通过老化前后器件L-I-V、正反向V-I、光学及红外外观、近场光斑及透射电子显微镜(TEM)研究了器件老化前后性能及发光模式变化,确定了器件的失效位置,分析了失效原因,并通过TEM图像确认了器件失效是由P-DBR中的位错生长导致.本文为国际首次对多结VCSEL器件失效分析的研究报道,对继续优化VCSEL内部结构设计及提升工艺控制能力、提高多结VC-SEL器件寿命及可靠性具有一定指导意义.

关键词：垂直腔面发射激光器、多结、失效分析、可靠性

所属期刊栏目：43

分类号：TN248.4(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2022-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：388-395