基于Ag微孔阵列结构电极的MgZnO紫外探测器制备和特性

摘要：

通过金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)方法在蓝宝石衬底上生长了MgZnO薄膜,结合光刻和聚苯乙烯(PS)小球模板技术,制备了基于Ag微孔阵列电极结构的MgZnO紫外探测器.与基于常规金属薄膜电极的器件相比,基于微孔阵列叉指电极的MgZnO基紫外探测器的光电流提高近6倍,同时其暗电流和响应时间基本保持不变.通过紫外-可见透射光谱和电学性质等表征,讨论了Ag微孔阵列结构电极对MgZnO薄膜紫外光电探测性能的影响机制.本研究为制备高性能紫外探测器提供了一条可行的途径.

关键词：MgZnO、紫外探测器、聚苯乙烯、微孔阵列

所属期刊栏目：42

分类号：O472+.8;TN36(半导体物理学)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;中国科学院"百人计划";优秀青年科学基金;中国科学院青年创新促进会项目;国家重点实验室开放基金;国家重点实验室开放基金;国家自然科学基金

在线出版日期：2021-06-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：201-207