Al2O3/PMMA交叠薄膜制备及OLED封装性能

摘要：

可靠的薄膜封装对提高有机发光二极管(Organic light-emitting diode,OLED)器件寿命至关重要.本文采用原子层沉积实现了致密Al2O3薄膜的低温制备,并研究了喷墨打印PMMA墨水在Al2O3薄膜的均匀成膜以及Al2O3/PMMA交叠薄膜的水汽阻隔性能.实验结果表明,当打印分辨率为300 DPI时,PMMA墨水在Al2O3薄膜表面均匀成膜,Al2O3/PMMA交叠薄膜具有良好的水汽阻隔性能和光学透过率.钙膜电学测试结果显示,3对Al2O3/PMMA薄膜的水汽透过率低至8.34×10-5 g/(m2·d),而光学透光率在可见光范围内高于95％,表现出良好的OLED器件薄膜封装性能.

关键词：薄膜封装、原子层沉积、喷墨打印、水汽透过率、OLED

所属期刊栏目：42

分类号：TN383;TN873(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金;福建省高等学校新世纪优秀人才支持计划

在线出版日期：2021-06-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：118-125