基于三明治结构的ZnO紫外光电探测器
采用射频磁控溅射方法制备了三明治结构ZnO紫外光电探测器,即在传统金属-半导体-金属(MSM)单层ZnO紫外光电探测器的基础上再铺设一层ZnO薄膜,从而构建三明治器件结构.三明治结构ZnO紫外光电探测器响应度在5 V偏压下达到了0.05 A/W,暗电流为1.44×10-5 A,器件的整体性相比较传统单层ZnO紫外光电探测器得到了明显的改善.这主要归因于金属与半导体接触的耗尽区可以直接吸收入射光,提高了入射光的吸收效率,避免了传统上层电极对入射光的遮蔽作用.
三明治结构、ZnO紫外光电探测器、响应度
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O472.8(半导体物理学)
国家自然科学基金61905022
2020-09-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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