悬空车轮形氮化镓发光二极管

摘要：

减少器件的界面损耗从而提升其发光性能一直是发光二极管领域一个重要的研究热点.本文采用标准半导体工艺在硅衬底上制备了GaN基车轮形发光器件.采用各向同性湿法蚀刻工艺将器件悬空,比较并研究了悬空对器件的性能,包括光强、半高宽、波长漂移、3 dB带宽等的影响.由于减小了光损耗,在悬空结构中腔效应更加明显,器件的电致发光和通信性能得到了提升.本研究对电驱动光源的制备和可见光通信具有重要意义.

关键词：发光二极管、氮化镓、车轮形微腔、3dB带宽

所属期刊栏目：41

分类号：TN312.8;O439(半导体技术)

资助基金：江苏省优秀青年基金;中国博士后科学基金;南京邮电大学研究启动基金;China Postdoctoral Science Foundation;Research Start-up Fund of Nanjing University of Posts and Telecommunications

在线出版日期：2020-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1146-1152