联氨溶液钝化GaAs(100)表面特性及其发光性能
为了有效降低GaAs表面态密度,获得稳定的高性能钝化膜,使用联氨溶液钝化GaAs(100)表面.通过光致发光对联氨溶液浓度、Na2 S浓度和钝化时间进行了优化.联氨溶液钝化后GaAs样品的PL比未处理的增加了1.22倍.采用X射线光电子能谱和原子力显微镜分析了联氨溶液钝化前后GaAs的表面成分和形貌.结果表明,联氨溶液钝化GaAs表面可以有效地去除表面氧化物,形成均匀、平整的GaN钝化层.通过表面稳定性测试发现,钝化后的GaAs表面在空气中放置数天,光致发光强度未见明显的退化(30 d内PL强度降低7％),说明钝化后GaAs表面的稳定性良好.
联氨、GaAs、钝化、光致发光、GaN
40
TN248.4(光电子技术、激光技术)
国家自然科学基金61774024;国家重点研发计划项目2017YFB0405100;吉林省科技发展计划20160203017GX, 20170101047JC,20170203014GX,20190302007GX
2019-10-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
1234-1239
