垂直腔面发射激光器湿法氧化工艺的实验研究

摘要：

在湿法氧化过程中采用一种自制的新型红外光源显微镜和CCD相机俯视成像系统监测被氧化晶圆片上氧化标记点颜色的变化,通过CCD相机得到的氧化标记点尺寸大小与实际氧化标记点尺寸大小的比例计算,由氧化标记点变化颜色的尺寸大小获得实际晶圆被氧化尺寸大小,反馈调节氧化工艺,保证控制垂直腔面发射激光器(VCSELs)的氧化孔径精度在±1μm.根据氧化实验总结高Al组分含量对氧化孔形状影响、氧化速率随温度变化及氧化深度随时间变化规律,得到在炉温420℃、水浴温度90℃、氧化载气N2流量200 mL/min的工艺条件下,氧化速率为0.31μm/min,实现量产高速调制4×25 Gbit/s的850 nm VCSELs.室温条件下,各子单元器件工作电压为2.2 V,阈值电流为0.8 mA,斜效率为0.8 W/A.在6 mA工作电流下,光功率为4.6 mW.

关键词：垂直腔面发射激光器、AlxGa1-xAs、湿法氧化、氧化规律

所属期刊栏目：39

分类号：TN248.4(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学青年基金61505003

在线出版日期：2019-01-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：1714-1721