玉米蛋白质基底上射频磁控溅射法制备ZnO薄膜

摘要：

采用射频磁控溅射方法在蛋白质基底上成功地制备了ZnO薄膜,研究了不同靶基距、氩氧比和溅射功率条件对ZnO薄膜性质的影响.结果表明,较小的靶基距有助于ZnO薄膜的c轴择优取向生长.我们还发现,沉积于玉米蛋白质基底的ZnO薄膜存在不同程度的张应力,当Ar/(Ar+O2)为0.7时,ZnO薄膜内的张应力最小.ZnO近带边发光峰有不同程度的红移,我们认为,这是由于晶界势垒和氧空位Vo造成的.随着溅射功率的增大,薄膜生长速率显著加快,晶粒尺寸增大,ZnO的近带边发光峰位逐渐趋向于理论值.

关键词：氧化锌薄膜、玉米蛋白膜、磁控溅射、X射线衍射、光致发光谱

所属期刊栏目：39

分类号：TN209(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金51672103;吉林省科技厅科研项目20160204069GX,20170101111JC,20170520169JH;吉林省教育厅科研项目JJKH20170243KJ,JJKH20170241KJ

在线出版日期：2018-10-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：1431-1438