一种具有低折射率的高对比度光栅反射镜的设计

摘要：

设计并研究了一种工作于2μm波段的GaSb基亚波长高对比度光栅反射镜,其具有低折射率光栅层结构.通过严格耦合波理论优化结构,以最大限度地满足VCSEL腔面反射镜对反射率带宽的要求.反射镜对2μm波段的TM模式具有优良的反射效率,带宽与设计波长之比达15％(反射率R>99％),在反射率R>99.9％的部分Δλ/λ0>9.5％,带宽中心波长为2.003μm,与此同时TE模的反射率不超过70.20％.该反射镜结构中几个参数的制作容差较大,且厚度低于1.1μm,有利于在垂直腔面发射半导体激光器上的单片集成.

关键词：亚波长光栅、反射镜、垂直腔面发射激光器、GaSb

所属期刊栏目：39

分类号：TN248.4(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金11474038,61376045,11474036;总装预研究基金61424050302162405002资助项目Supported by National Natural Science Foundation of China11474038,61376045,11474036;General Assembly Pre-research Fund61424050302162405002

在线出版日期：2018-07-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：855-861