氢退火的BZO前电极对非晶硅薄膜太阳能电池性能的影响

摘要：

采用低压化学气相沉积方法在玻璃衬底上制备了B掺杂的ZnO(BZO)薄膜,通过氢退火对BZO进行处理,然后作为前电极进行了非晶硅薄膜太阳能电池的制备及性能研究.结果表明:在氢气气氛下退火后,BZO薄膜的载流子浓度基本无变化,但Hall迁移率显著提高,这使得BZO薄膜的导电能力提高;当采用厚度较小、透光率较高的BZO薄膜进行氢退火后作为前电极结构时,非晶硅薄膜太阳能电池的短路电流密度提高0.3～0.4 mA/cm2,电池的转化效率提高0.2％.实验结果可为通过优化前电极结构来提高非晶硅薄膜太阳能电池转化效率提供一种简易的方法.

关键词：BZO薄膜、前电极、透光率、非晶硅薄膜太阳能电池、转化效率

所属期刊栏目：39

分类号：TN304(半导体技术)

资助基金：江西科技学院科研启动费项目[2015]66 号;江西科技学院自然科学基金16ZRYB10;国家自然科学基金21571095资助项目Supported by Scientific Research Foundation[2015] 66;Natural Science Research Program of Jiangxi University of Technology16ZRYB10;National Natural Science Foundation of China21571905

在线出版日期：2018-07-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：838-843