制备工艺对掺杂NaYF4:Er3+,Yb3+发光纳米晶的聚合物光波导放大器性能的影响

摘要：

制备了NaYF4:Er3+,Yb3+纳米晶,表征了纳米晶的形貌,通过物理掺杂的方式将纳米粒子掺杂到SU-8中作为光波导放大器的芯层材料,优化了波导放大器的尺寸,利用旋涂、刻蚀等工艺,在二氧化硅衬底上制备了光波导放大器.实验中用光漂白法和湿法刻蚀两种方法制备光波导放大器,分别给出了两种方法制备的器件的结构、工艺流程、光场模拟结果,并对两种方法制备的器件的放大特性进行了测试.测试结果表明,当980 nm波长的泵浦光功率为241 mW且1550 nm波长的信号光功率为0.1 mW时,使用湿法刻蚀法制备的放大器得到2.7 dB的相对增益.当980 nm波长的泵浦光功率为235 mW且1550 nm波长的信号光功率为0.1 mW时,使用光漂白法制备的放大器得到4.5 dB的相对增益.根据以上测试结果,分析了两种工艺对器件性能的影响.

关键词：波导放大器、NaYF4:Er3+、Yb3+纳米粒子、聚合物

所属期刊栏目：39

分类号：O482.31(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金61475061,61575076,61405070;吉林省省级产业创新专项资金2016C019资助项目 Supported by National Natural Science Foundation of China61475061,61575076,61405070;Jilin Provincial Industrial Innova-tion Special Fund Project2016C019

在线出版日期：2018-07-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：681-686