金属氧化物TFT阈值对LCD显示屏可靠性的影响

摘要：

TFT的器件特性是影响氧化物TFT驱动的LCD显示屏良率的关键因素.本文研究了氧化物TFT的关键特性参数(阈值,稳定性)对窄边框LCD显示屏的良率和可靠性的影响.氧化物TFT阈值过负,将会导致TFT无法正常关断,而使显示屏的外围移位寄存器(VSR)电路失效.另外,在显示区域用于像素驱动的氧化物TFT的高温和背光照射下阈值持续负向漂移,最终会导致显示区域的驱动TFT漏电流过大,从而使显示屏出现串扰和残影不良.

关键词：金属氧化物薄膜晶体管、阈值、LCD、可靠性

所属期刊栏目：39

分类号：TN321+.5(半导体技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划8632015AA033406;上海市科委项目16JC1400602,17DZ2291500资助 Supported by National High Technology Research and Development Program of China8632015AA033406;Science and Technology Commission of Shanghai Municipality16JC1400602,17DZ2291500

在线出版日期：2018-06-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：383-387