微纳混合结构黑硅的制备及其关键工艺技术讨论

摘要：

黑硅是一种能大幅提高器件光电转换效率的新型电子材料,微纳混合结构黑硅是一种比普通黑硅材料更高效的新型黑硅材料,如何制备出大面积、形貌特征好、表面洁净度高的黑硅材料是制备高效的黑硅太阳能电池的前提.首先,利用湿法腐蚀方法,通过设计合适的反应固体装置和良好的工艺控制手段,在金字塔硅表面制备了大面积的微纳混合结构黑硅;然后,对其制备的关键工艺技术进行了研究讨论.实验结果表明,该方法制备的微纳混合结构黑硅具有形貌特征好、表面洁净度高和低表面反射率等特征.有效去除表面银沉积物后,该黑硅在300~1100 nm范围内的加权平均反射率低至4.06%.该制备工艺方法适用于大面积高效微纳混合结构黑硅的规模制备,在高效黑硅太阳能电池领域具有重要的应用价值.

关键词：金字塔结构、微纳混合结构、黑硅、太阳能电池

所属期刊栏目：38

分类号：O641;O443(物理化学（理论化学）、化学物理学)

资助基金：玉林师范学院校级科研项目2015YJYB05资助 Supported by Yulin Normal University Research Grant2015YJYB05

在线出版日期：2017-12-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1486-1492