压电波形对喷墨打印电极的调控规律

摘要：

压电喷墨打印是制备印刷电子器件的主要手段之一,其墨滴喷射状态直接受压电波形的影响,因而压电波形对于器件打印具有重要意义.本文主要研究了压电波形对薄膜晶体管(TFT)电极打印效果的影响,实验通过改变压电波形的加压速率和脉冲持续时间,打印得到了一系列的电极样品,并对其图形效果及表面粗糙度进行了测量.实验表明,随着加压速率和脉冲持续时间的增大,墨滴喷出动能增大,最终打印的图形效果先改善后恶化,表面粗糙度则随之增大.在加压速率取值为0.08 ～1.65 V/μs、脉冲持续时间取值为1.216～2.688μs的区间内得到了失真程度较小的电极图形,在加压速率及脉冲持续时间分别为0.25 V/μs、2.688μs及0.65 V/μs、1.600μs时,电极图形化效果较好,表面粗糙度分别为59.04 nm和59.27 nm.通过对压电波形参数的合理设置,能够实现对打印图形效果的优化.

关键词：喷墨打印、加压速率、脉冲持续时间、TFT电极、表面粗糙度

所属期刊栏目：38

分类号：TN41(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家自然科学基金重大集成项目U1601651;973国家重点基础研究发展计划2015CB655004;国家重点研发计划专项2016YFB0401504,2016YFF0203603;广东省自然科学基金2016A030313459;广东省科技计划2014B090915004,2015B090914003,2016A040403037,2016B090907001,2016B090906002;中央高校基本科研业务费专项资金2015ZP024,2015ZZ063;广东省高校珠江学者资助计划2016资助项目 Supported by National Natural Science Foundation of ChinaU1601651;973 National Key Basic Research and Development Program of China2015CB655004;National Key R&D Program of China2016YFB0401504,2016YFF0203603;Guangdong Natural Science Foundation2016A030313459;Science and Technology Project of Guangdong Province2014B090915004,2015B090914003,2016A040403037,2016B090907001,2016B090906002;Fundamental Research Funds for The Central Universities2015ZP024,2015ZZ063;Project for Guangdong Province Universities and Colleges Pearl River Scholar Funded Scheme2016

在线出版日期：2017-07-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：617-622