基于有限元方法的有机场效应晶体管特性模拟与实验验证

摘要：

采用有限元方法,借助多物理场软件COMSOL模拟了底栅顶接触结构有机场效应晶体管电位和载流子浓度随源漏电压Vds的变化.模拟结果表明,当固定栅压Vg=-10 V时,改变Vds从0～-10V,对于电位分布,从栅极到源漏电极竖直方向有渐进的变化,而从源极到漏极的水平方向呈现由大到小明显的梯度变化.对于载流子浓度,观察到沟道处从源极向漏极逐渐减少,在靠近漏极的区域减少得尤为明显,而当源漏电压等于栅极电压时,产生夹断现象.进一步将模拟结果与实际制备的器件性能进行了对比,模拟结果与实验数据所显示的分布趋势大体相同,印证了模拟的合理性.由此表明,采用模拟方法分析有机场效应晶体管的器件特性,对于实际制备器件具有重要的指导意义.

关键词：有机场效应晶体管、有限元方法、电位、载流子

所属期刊栏目：37

分类号：TN386;O47(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金61076065,11204214

在线出版日期：2016-12-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：1245-1252