基于多孔硅的表面等离子共振传感特性

摘要：

提出了一种基于多孔硅的表面等离子共振传感模型：棱镜-金属膜-多孔硅薄膜-待测介质。在该结构中，多孔硅的折射率会随着样品浓度的变化而变化。利用有限元分析方法，数值模拟得到该结构的共振光谱，对模型进行了分析和参数优化。以乙二醇溶液为待测样本，对提出的传感结构的传感性能进行分析，得到该传感器对乙二醇的传感灵敏度约为267.85(°)/RIU，约为Kretschmann棱镜结构灵敏度的2.13倍。

关键词：表面等离子共振、光学传感、共振光谱、灵敏度

所属期刊栏目：37

分类号：O433.4(光学)

资助基金：国家自然科学基金61107039；河北省百人计划4570018

在线出版日期：2016-10-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1152-1158