基于Al2O3封装薄膜的OLED水汽透过率测试方法及系统研究

摘要：

水汽透过率(WVTR)是衡量有机电致发光器件(OLED)封装薄膜性能的重要参数之一.本文研究了基于钙电学法的WVTR测试方法,设计并研制了可满足OLED水汽透过率测试精度和功能要求的测试系统,测试精度达1×10-6g·m-2·d-1,量程为10 g·m-2·d-1,可同时完成20个样品的快速、精确测量.利用本系统对采用原子层沉积技术制备的不同厚度Al2O3封装薄膜的WVTR进行了测试研究,结果表明,Al2O3薄膜具有良好的水汽阻挡性能.

关键词：有机电致发光器件、水汽透过率、钙电学测量法、多通道测试系统、薄膜封装

所属期刊栏目：37

分类号：TP274;TN383+.1(自动化技术及设备)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划2015CB655005;上海市优秀学术带头人14XD1401800;上海市平板显示工程技术研究中心14DZ2280900

在线出版日期：2016-04-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：88-93