粉末靶制备的AZO/Ag/AZO透明导电薄膜的光电性能

摘要：

室温下,采用射频磁控溅射AZO粉末靶和Ag靶在玻璃基底上制备Ag层厚度分别为12 nm和15 nm两组对称结构掺铝氧化锌/银/掺铝氧化锌（ AZO/Ag/AZO）透明导电薄膜,研究了Ag层和AZO层厚度对薄膜光电性能的影响。结果表明：3层薄膜的可见光区平均透光率达到了80%,550 nm处的最高透过率达到了88%,方块电阻小于5Ω/□。 Ag层厚度是影响AZO/Ag/AZO薄膜光电性能的主要因素,AZO层的厚度对薄膜光学性能影响较大。

关键词：多层透明导电薄膜、金属基透明导电薄膜、粉末靶、射频磁控溅射

分类号：O484.4;TM24(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金51172101,51372109;辽宁省高等学校优秀人才支持计划LR2012009

在线出版日期：2015-12-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1427-1433