用粉末靶在玻璃和PI衬底上制备AZO/Ag/AZO薄膜

摘要：

室温下在玻璃和聚酰亚胺两种不同衬底上,采用射频磁控溅射法溅射掺铝氧化锌( AZO)粉末靶和固体Ag靶,制备了两组AZO/Ag/AZO 3层透明导电薄膜,研究了AZO层厚度对不同衬底3层膜结构和光电性能的影响. 结果表明:不同衬底的两组AZO/Ag/AZO薄膜均为多晶膜. 当Ag层厚度不变时,随着AZO层厚度的增加,两组薄膜电学性能变化不大,透射峰向长波方向移动. 玻璃和PI衬底上制备的AZO(30 nm)/Ag (14 nm)/AZO(30 nm)薄膜,在550 nm处的透光率分别为85%和70%,方块电阻分别为2. 6 Ω/□和4. 6Ω/□.

关键词：粉末靶、有机衬底、多层透明导电薄膜、磁控溅射

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分类号：O484.4;TM24(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金51172101,51372109;辽宁省高等学校优秀人才支持计划LR2012009

在线出版日期：2015-12-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1300-1306