基于Sb2O3/Ag/Sb2O3叠层透明导电薄膜的自组装沟道透明薄膜晶体管

摘要：

首次利用Sb2 O3/Ag/Sb2 O3( SAS)叠层透明导电薄膜作为透明电极，并采用衍射自组装沟道的方法研制了一种透明薄膜晶体管。通过一次掩模工艺，在电子束热蒸发过程中的SAS源漏电极之间制作沟道层。SAS透明导电薄膜具有优异的光电性能。研制的透明薄膜晶体管具有良好的器件性能，其迁移率高达11.36 cm2/( V·s)。整个器件在可见光范围内的平均透过率为80%。结果表明，这种透明薄膜晶体管有希望应用于低成本透明光电子产品中。

关键词：透明导电薄膜、Sb2 O3/Ag/Sb2 O3 叠层、自组装沟道、透明薄膜晶体管

分类号：TN321;O484.4(半导体技术)

资助基金：基金项目:国家自然科学基金61106057

在线出版日期：2014-12-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1469-1473