电极间距对ZnO基MSM紫外光电探测器性能的影响

摘要：

利用金属有机物化学气相沉积法在蓝宝石衬底上制备了Zno薄膜.利用Au电极,在ZnO薄膜上制备电极间距不同的金属-半导体-金属结构紫外光电探测器.发现随着电极间距从150μm降至5μm,探测器响应度呈现出从15 mA/W到75 mA/W的明显提高.同时,随着电极间距的减小,器件的Ⅰ-Ⅴ曲线线形发生了显著改变.这被归结为电极间距变化改变了器件耗尽区宽度和电极间电阻造成的结果.

关键词：ZnO、光电探测器、MSM、电极间距、响应度

所属期刊栏目：35

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金21100146,61376054;国家“973”计划2011CB302006

在线出版日期：2014-11-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1172-1175