纳米压印制备的光子晶体结构对AlGaN基材料深紫外出光效率的提高

摘要：

通过利用阳极氧化铝的方法制备高度有序的光子晶体结构作为纳米压印模板,将大面积光子晶体图案转移到了样品表面,解决了国际上小尺寸光子晶体制备困难的问题.采用纳米压印的方法在AlGaN基样品表面上制备了290 nm的周期光子晶体结构,并将表面具有光子晶体结构的AlGaN基样品正面出光强度提高121％.偏振特性的实验结果表明六角排列的孔状光子晶体将原来朝向样品侧面传播的TE偏振光偏折转向正面,从而增加光抽取效率,改变出光偏振度.指出远场角分辨图案的变化归因于光子晶体对出光的衍射和Bragg散射效果.实验中采用的创新性工艺可以用来制备具有高出光效率的深紫外发光二极管.

关键词：出光效率、深紫外光、阳极氧化铝、光子晶体、偏振特性

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分类号：TN303;TN304(半导体技术)

资助基金：国家重点基础研究发展计划2012CB619301;国家高技术研究发展计划2014AA032608

在线出版日期：2014-09-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：998-1002