m面蓝宝石上外延(110)取向立方MgZnO薄膜及其日盲紫外探测器件研究

摘要：

由于在日盲紫外探测方面的应用前景,具有合适带隙的MgZnO合金半导体薄膜受到越来越多的关注.获得具有择优取向的单一相MgZnO对提升MgZnO基日盲紫外探测器性能至关重要.本文利用低压金属有机化学气相沉积(LP-MOCVD)方法在m面蓝宝石衬底上制备了一系列不同组分的MgZn1-xO薄膜.光学和结构特性测试结果表明:Zn摩尔分数达到55％的Mg0.45Zn0.55O薄膜依然是单一立方相,其光学带隙可以达到4.7 eV.立方岩盐结构MgZnO与m面蓝宝石衬底的外延结构关系为(110)MgZnO‖(1010)-sapphire、[001]MgZnO||[1210]sappire和[110]-MgZnO|| [0001]sapphire.唯一确定的面内取向有利于薄膜晶体质量的提高.基于(110)取向立方相Mg0.45Zn0.55O薄膜制备金属-半导体-金属(MSM)结构器件,获得了光响应峰在260 nm、光响应截止波长278 nm的日盲紫外探测器.

关键词：立方MgZnO、(110)取向、日盲紫外探测器、MOCVD

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分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：国家重点基础研究发展计划2011CB302006,2011CB302002;国家自然科学基金11134009,61376054,11174273,11104265,61177040

在线出版日期：2014-07-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：678-683