Ⅱ-Ⅵ比对分子束外延生长的ZnO/ZnMgO超晶格的相结构调控

摘要：

在Zn1-xMgxO中,x=0.4 ～0.6仍为一个岩盐矿和纤锌矿共存的结构,影响了其晶格质量.本文利用等离子体辅助的分子束外延设备在c面蓝宝石衬底上外延生长了ZnO/ZnMgO超晶格,并改变其生长过程中的Ⅱ-Ⅵ比,利用原子力显微镜、X射线衍射、透射谱和X射线光电子能谱对样品进行了表征分析.发现在较低氧分压下制备的样品结构以岩盐矿为主导,而在较高氧分压下两相共存并以纤锌矿为主.这种相分离现象与裂解氧原子的密度有关.

关键词：MgZnO、ZnO、超晶格、Ⅱ-Ⅵ比、相分离

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分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金61076084

在线出版日期：2014-06-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：526-530