基于旋涂法和电子束蒸发法制备的V2O5/Ag/V2O5叠层透明导电薄膜

摘要：

利用溶胶-凝胶技术与电子束蒸镀相结合的方法在常温下制备了叠层V2O5/Ag/V2O5(VAV)透明导电薄膜,研究了各层薄膜厚度对叠层结构光电特性的影响.用原子力显微镜、紫外-可见光分光光度计、四探针电阻仪及开尔文探针对样品的表面形貌、光电性能及功函数等性质进行了表征.实验结果表明,该薄膜具有良好的光学和电学性质,可见光(380 ～ 780 nm)平均透过率达75％,迁移率为16.89 cm2/(V·s),载流子浓度为-1.043×1022 cm-3,方块电阻值为15.1 Ω/□,功函数为5.17 eV.该制备方法降低了V2O5薄膜的工艺制备难度,为该材料在太阳能电池中的应用创造了良好的前期基础.

关键词：溶胶-凝胶技术、透明导电薄膜、V2O5/Ag/V2O5叠层

所属期刊栏目：35

分类号：TN383+.1(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金61106057

在线出版日期：2014-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：360-365