ITO/Rubrene表面及界面的AFM和XPS研究

摘要：

采用原子力显微镜(AFM)和X射线光电子能谱仪(XPS)研究了氧化铟锡(ITO)/红荧烯(Rubrene)的形貌和表面、界面的电子态.AFM结果显示,ITO上的Rubrene膜有良好的均匀性.XPS结果表明:C1s谱有3个峰,位于282.50,284.70,289.30 eV,对应于C—Si、C=O和C—C键.用氩离子束溅射表面,芳香碳对应的峰值逐渐增大,其他两个峰值迅速消失.随着表面O污染的去除,O1s峰先快速减弱然后逐渐增强.界面附近的O原子与C原子结合构成O=C、C—O—C和醛基.In3d和Sn3d峰则缓慢增强,在界面附近峰值变得稳定.C1s、In3d、Sn3d谱峰都向低束缚能发生化学位移,表明ITO与Rubrene在界面发生了相互作用,形成一个互扩散层.

关键词：XPS、Rubrene、化学位移、界面态

所属期刊栏目：35

分类号：TN383+.1;TN304(半导体技术)

资助基金：兰州市科技计划2010-1-1;兰州市城关区科技计划2011-5-2;信息功能材料国家重点实验室开放课题12-668

在线出版日期：2014-03-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：207-212