Mn掺杂对ZnO∶Mn薄膜结构特性的影响

摘要：

利用射频磁控溅射方法在玻璃衬底上室温沉积了一系列不同Mn掺杂的ZnO∶ Mn薄膜.结合Raman光谱,XRD谱和SEM分析了ZnO∶ Mn薄膜的结构特性.Raman拟合结果显示,在Mn摩尔分数从0增加到5.6％的过程中,ZnO∶ Mn薄膜始终保持着六角纤锌矿结构；随着Mn掺杂浓度的增大,437 cm-和527 cm-位置上的Raman散射峰出现红移现象,说明Mn掺杂量的增加导致晶格更加无序,缺陷增多；当Mn摩尔分数达到15.8％时,647 cm-处的Raman散射峰出现,暗示了MnO的产生,同时薄膜结晶质量变差.这一结论也得到了XRD和SEM结果的支持.

关键词：ZnO、Mn、拉曼、稀磁半导体

所属期刊栏目：34

分类号：TB34;TB43(工程材料学)

资助基金：天津市教委项目20120710,20110711

在线出版日期：2013-10-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1167-1172