亚波长金属光栅结构的制备与矢量衍射理论分析

摘要：

利用纳米压印结合溅射和反应离子刻蚀工艺制备了周期为1μm、占空比为0.2的亚波长金属光栅,利用紫外-可见-近红外光谱仪测量了光栅的0级反射光谱.在严格耦合波分析的基础上,把光栅区域电磁场的空间谐波通过勒让德多项式展开,使用多项式展开的谱分析法求解常微分方程,计算了该亚波长金属光栅的反射光谱及磁场分布.实验测量结果同矢量衍射理论计算结果都显示,该光栅在近红外、中红外波段具有表面等离子体共振现象.数值计算结果还表明,对于此类亚波长金属光栅,当光栅的深宽比增加时,其反射光谱中会出现更多的反射谷.

关键词：亚波长金属光栅、纳米压印、表面等离子体

所属期刊栏目：34

分类号：O439(光学)

资助基金：国家自然科学基金青年基金61203211;南京信息工程大学青年教师科学技术研究与发展计划20110423

在线出版日期：2013-09-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：935-939