工作气压对ZnO:Mn薄膜结构特性的影响

摘要：

利用射频磁控溅射方法在玻璃衬底上沉积了一系列ZnO∶ Mn薄膜,结合Raman光谱、XRD衍射谱和SEM分析了工作气压对ZnO∶ Mn薄膜结构特性的影响.Raman拟合光谱显示,在工作气压从1Pa增加至4Pa的过程中,ZnO∶ Mn薄膜始终保持着六角纤锌矿结构.但是,随着气压的降低,对应于E2(High)振动模式的Raman散射峰以及与Mn掺杂相关的特征峰左移,说明在低工作气压时,ZnO∶ Mn薄膜内晶格缺陷更多,晶格更加无序.这一结论也得到了XRD和SEM结果的证实.

关键词：ZnO∶Mn、拉曼、稀磁半导体

所属期刊栏目：34

分类号：O484.4;TB43(固体物理学)

资助基金：天津市教委20120710,20110711

在线出版日期：2013-08-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：711-715