SOI多环级联光学谐振腔滤波器

摘要：

利用MEMS工艺制备了基于SOl的小尺寸、高集成光波导多环级联谐振腔滤波器,理论分析了多环级联微环腔的光场传输特性与光谱响应特性,实验验证并得到了不同级联环数与谐振谱线滚降垂直度的关系.研究表明:当波导宽度为450 nm、半径为5μm时,单环、双环和十环滤波器响应谱线的-3 dB带宽分别为0.313,0.279,0 239 nm,相应结果与理论吻合,即随着级联环数的增多,谐振谱线顶端趋于平坦,滚降垂直度增高.设计制备了环形与跑道形两种级联谐振腔滤波器,研究了相应的透射谱特性.

关键词：光波导、多环级联、滤波器、滚降垂直度

所属期刊栏目：34

分类号：O436(光学)

资助基金：国家自然科学基金91123036,61178058,61275166;山西省自然科学基金2010011003-2;山西省教育厅优秀青年学术带头人资助项目

在线出版日期：2013-07-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：645-649