液相沉积法制备的二氧化硅薄膜及其钝化性能

摘要：

采用液相沉积法在硅基底上成功制备了二氧化硅薄膜,利用扫描电子显微镜、光电子能谱和少子寿命测试仪等对二氧化硅薄膜的组织结构和钝化性能进行了研究,结果表明,液相生长的二氧化硅薄膜致密平整,含有少量的F元素；对硅具有较好的减反和钝化作用,平均反射率由28.87％降低至10.88％,表面复合速度由6 923 cm/s降低至2 830 cm/s.

关键词：液相沉积、二氧化硅薄膜、钝化

所属期刊栏目：33

分类号：O76(晶体结构)

资助基金：国家自然科学基金61106060;中国科学院知识创新工程重大项目Y2YF028001;国家高技术研究发展计划2012AA052401

在线出版日期：2013-01-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1264-1267