轴向填充率渐变型二维光子晶体

摘要：

提出了一种轴向填充率渐变型二维三角晶格方空气孔光子晶体,由锥形孔周期性排布而成,在第三维也就是沿空气孔的轴向,空气孔的尺寸连续改变,实现了填充率渐变,填充率f范围为0.700～0.866.经过模拟,在归一化波长(λ/a)的1.43 ～2.71和3.41 ～4.00波段,轴向填充率渐变型光子晶体可以将光向填充率小的方向偏折,具有选光功能.采用电化学腐蚀与MEMS工艺相结合的方式,在p型(100)硅基底上制作了轴向填充率渐变型二维三角晶格方孔光子晶体,整个孔的填充率f在0.800 ～0.866范围内.

关键词：二维光子晶体、轴向填充率渐变、电化学腐蚀

所属期刊栏目：33

分类号：O431.1(光学)

资助基金：国家自然科学基金60877031

在线出版日期：2013-03-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：1112-1119